薄膜測(cè)厚儀的檢測(cè)方法

　　對(duì)于薄膜厚度的測(cè)量，通常需要借助儀器來(lái)實(shí)現(xiàn)。根據(jù)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，薄膜厚度檢測(cè)需要專業(yè)的薄膜厚度測(cè)量?jī)x，行業(yè)中規(guī)薄膜材料的厚度測(cè)量分為機(jī)械接觸時(shí)測(cè)量和非接觸式測(cè)量?jī)煞N方式。在這里我們以機(jī)械接觸式薄膜測(cè)厚儀CHY-U為例，來(lái)介紹下薄膜厚度的測(cè)量。

　　薄膜測(cè)厚儀檢測(cè)方法介紹

　　1、將兩個(gè)激光傳感器分裝在薄膜試樣的上下方，把傳感器固定在支架上。

　　2、打開(kāi)儀器，設(shè)置參數(shù)，放置對(duì)比量塊，點(diǎn)擊“確認(rèn)”。

　　3、取走滑塊，重新設(shè)置與步驟（2）相同的參數(shù)，放入薄膜試樣。

　　4、分別取10個(gè)不同的點(diǎn)，位置盡量錯(cuò)開(kāi)，避免因距離太近影響數(shù)據(jù)。

　　5、測(cè)量值通過(guò)串口傳輸?shù)接?jì)算機(jī)，再通過(guò)在計(jì)算機(jī)上的測(cè)厚軟件進(jìn)行處理，得到目標(biāo)的厚度值。

　　需要注意的是，在對(duì)薄膜進(jìn)行測(cè)試之前首先需要準(zhǔn)備好試樣，而對(duì)于不同尺寸的試樣來(lái)說(shuō)，所需進(jìn)行測(cè)試點(diǎn)的數(shù)量也是不一樣的：試樣長(zhǎng)度≤300mm,測(cè)10點(diǎn)；試樣長(zhǎng)度在300mm到1500mm之間，測(cè)20點(diǎn)；試樣長(zhǎng)度≥1500點(diǎn)的，至少測(cè)30點(diǎn);對(duì)于未裁邊的樣品，應(yīng)在距邊50mm開(kāi)始測(cè)量。

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